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芯片制造全工藝流程(必備收藏參考)

發(fā)布時間:

2024-08-24


芯片制造流程乃是一個復(fù)雜而精細(xì)的過程,涉及諸多關(guān)鍵步驟以及高度專業(yè)化的技術(shù)。芯片制造主要分為三大步驟,即芯片設(shè)計、芯片制造以及封裝測試。

一、芯片設(shè)計

芯片制造的首要步驟為進(jìn)行設(shè)計。設(shè)計師需依據(jù)芯片應(yīng)用的需求,運用專業(yè)的電子設(shè)計自動化(EDA)工具來完成電路圖的設(shè)計與布局。在設(shè)計過程中,需充分考慮性能要求、功耗、尺寸等因素。高通、蘋果、英偉達(dá)、AMD、聯(lián)發(fā)科等聲名卓著的公司皆為芯片設(shè)計公司。

在芯片設(shè)計中,首先需設(shè)定芯片的目的,主要分為邏輯芯片、存儲芯片、功率芯片三類,并編寫芯片細(xì)節(jié),形成一份完整的 HDL 代碼。其次,將代碼轉(zhuǎn)化為圖形,EDA 軟件可將此 HDL 代碼一鍵轉(zhuǎn)換為邏輯電路圖,再把邏輯電路圖通過 EDA 軟件轉(zhuǎn)化為物理電路圖,最后將物理電路圖制作成光掩模。

 

二、晶圓制造:

硅原料提純:芯片的基礎(chǔ)材料是硅,通常從沙子中提取。沙子中的二氧化硅經(jīng)過高溫熔煉等工藝,提純?yōu)楦呒兌鹊碾娮蛹壒琛?/p>

拉晶:將提純后的硅熔化成液體,再通過提拉法等方法,緩慢拉制成單晶硅錠。

切片:使用金剛石鋸等精密工具,將單晶硅錠切割成一定厚度的薄片,這些薄片就是晶圓。

研磨與拋光:對晶圓表面進(jìn)行研磨和拋光處理,以獲得光潔、平整的表面,便于后續(xù)工藝的進(jìn)行。

三、光刻與蝕刻

光刻:在晶圓表面涂上一層光刻膠,然后通過光刻機(jī)將電路圖案投影到光刻膠上。光刻膠在光照下會發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成與電路圖案相對應(yīng)的圖形。

顯影與蝕刻:使用顯影劑去除光刻膠的未曝光部分,暴露出晶圓表面的特定區(qū)域。然后,使用化學(xué)溶液或等離子體對暴露的區(qū)域進(jìn)行蝕刻,形成電路結(jié)構(gòu)。

四、離子注入與薄膜沉積

離子注入:通過離子注入機(jī),將特定種類的離子(如硼、磷等)注入到晶圓表面的特定區(qū)域,以改變這些區(qū)域的導(dǎo)電性,形成PN結(jié)等結(jié)構(gòu)。

薄膜沉積:使用化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)等方法,在晶圓表面沉積一層或多層薄膜。這些薄膜可以是金屬、氧化物、氮化物等,用于形成電路中的導(dǎo)線、絕緣層等結(jié)構(gòu)。

五、退火與清洗

退火處理:在高溫環(huán)境下對晶圓進(jìn)行退火處理,以去除應(yīng)力、提高電性能,并促進(jìn)離子在晶圓中的擴(kuò)散。

清洗:使用高純度的化學(xué)溶液對晶圓進(jìn)行清洗,以去除表面殘留的雜質(zhì)和污染物。

六、封裝與測試

封裝:將制造完成的芯片固定在封裝基板上,并連接引腳,以保護(hù)芯片并提供與外部電路的連接接口。

測試:對封裝后的芯片進(jìn)行嚴(yán)格的測試,包括功能測試、性能測試和可靠性測試等,以確保芯片的質(zhì)量和可靠性。只有通過測試的芯片才會被銷售和使用。

七、總結(jié)

芯片制造流程是一個高度復(fù)雜且精細(xì)的過程,涉及多個關(guān)鍵步驟和高度專業(yè)化的技術(shù)。從芯片設(shè)計到封裝測試,每一步都需要精確控制和嚴(yán)格管理,以確保芯片的性能和質(zhì)量。隨著科技的不斷發(fā)展,芯片制造工藝也在不斷進(jìn)步和創(chuàng)新,以適應(yīng)日益增長的市場需求和技術(shù)挑戰(zhàn)。

 

關(guān)鍵詞:

芯片制造以及封裝測試,晶圓制造,芯片設(shè)計,光刻與蝕刻,離子注入與薄膜沉積,封裝與測試

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